如何检查真空泵工作真空是否正常

真空退火炉，出现铜带氧化，说明真空炉漏气。
1，检查真空泵工作真空是否正常，用真空计，检查真空泵入口的真空看看能否达到该泵的极限真空。如果达不到，换油，或维修，再不行换泵。
2，用捡漏仪，对真空炉捡漏。如果没有检漏仪（检漏仪很贵的），用丙酮（工业酒精）捡漏。一般测漏率0.2Pa/h，就应该没问题。

真空气氛炉：http://www.jwdlc.com/html/%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E7%82%89/